國(guó)產(chǎn)層流壓差流量控制器技術(shù)介紹

在精密制造與科研領(lǐng)域，氣體流量的精準(zhǔn)控制直接關(guān)系工藝質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。陜西易度智能科技有限公司依托自主研發(fā)的層流壓差技術(shù)，推出了SC、MC、EC及P系列質(zhì)量流量計(jì)（MFM）和質(zhì)量流量控制器（MFC），為我國(guó)半導(dǎo)體、新能源、生物制藥等領(lǐng)域提供了高可靠性的氣體測(cè)控解決方案。

層流壓差技術(shù)是易度智能產(chǎn)品的核心優(yōu)勢(shì)。其原理是通過(guò)層流元件將湍流氣體轉(zhuǎn)化為規(guī)則的層流狀態(tài)，利用壓差傳感器測(cè)量層流元件兩端的壓力差，再結(jié)合內(nèi)置的高精度溫度與壓力傳感器實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境波動(dòng)，直接將工況流量轉(zhuǎn)化為標(biāo)況質(zhì)量流量。這一技術(shù)擺脫了傳統(tǒng)熱式流量計(jì)對(duì)“預(yù)熱"的依賴，實(shí)現(xiàn)開(kāi)機(jī)即用、響應(yīng)速度低于500ms，在-20℃~60℃的寬溫域及1MPa壓力環(huán)境下仍保持穩(wěn)定運(yùn)行。

易度智能的產(chǎn)品線覆蓋多場(chǎng)景精度需求：

SC系列配備觸控屏，支持實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力、標(biāo)況/工況流量等4種參數(shù)，精度高達(dá)±0.5%設(shè)定值，重復(fù)性±0.1%F.S.，適用于實(shí)驗(yàn)室高精度標(biāo)定與材料制備等場(chǎng)景；

EC系列取消屏幕設(shè)計(jì)但同等精度，強(qiáng)化工業(yè)抗干擾能力，標(biāo)配RS485通訊，支持模擬信號(hào)擴(kuò)展，專為集成到原子鍍膜設(shè)備、精細(xì)化工生產(chǎn)線等工業(yè)系統(tǒng)優(yōu)化；

便攜式P300內(nèi)置電池，續(xù)航15小時(shí)，滿足現(xiàn)場(chǎng)移動(dòng)檢測(cè)需求。

所有系列均內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，涵蓋氫氣、氬氣、特種混合氣等，可直接切換介質(zhì)或編輯混氣比例，無(wú)需人工轉(zhuǎn)換系數(shù)。結(jié)合上位機(jī)軟件，可實(shí)現(xiàn)流量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與歷史記錄分析，大幅提升復(fù)雜氣體控制場(chǎng)景的效率。

目前，易度智能的層流壓差流量設(shè)備已應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域：在光伏鍍膜工藝中精確控制反應(yīng)氣體濃度；為生物反應(yīng)器提供無(wú)菌環(huán)境下的穩(wěn)定氣源；集成于環(huán)保分析儀器實(shí)現(xiàn)排放氣體的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)。其金屬密封殼體與316L不銹鋼流道設(shè)計(jì)，更確保了在腐蝕性氣體和電磁干擾環(huán)境中的長(zhǎng)期可靠性。

從科研儀器到工業(yè)生產(chǎn)線，陜西易度智能通過(guò)層流壓差技術(shù)的深度創(chuàng)新，不僅打破了氣體流量控制設(shè)備的國(guó)際壟斷，更以“高精度-免預(yù)熱-強(qiáng)抗擾"三位一體性能，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)氣體測(cè)控技術(shù)。未來(lái)，隨著氫能、半導(dǎo)體等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的升級(jí)，這一自主技術(shù)體系將為中國(guó)精密制造提供更堅(jiān)實(shí)的支撐。