易度智能層流壓差式氣體質量流量控制器推動國產化半導體芯片發展

7月25-27日，2025年中國西部半導體及集成電路產業博覽會將在西安國際會展中心舉行，作為行業先進的本土氣體質量流量計及氣體質量流量控制器自主研發生產制造商，陜西易度智能科技有限公司將展示其自主研發的層流壓差式質量流量計與控制器系列產品——這些突破“卡脖子"技術的關鍵部件正在重塑中國半導體裝備的“呼吸系統"。

國產化突破：從技術依賴到自主創新

陜西易度智能科技有限公司是一家專注研發制造業微流量控制核心器件的技術企業，憑借自主研發十余年的技術積淀，已成為國內極少數掌握層流壓差式核心技術的企業。

公司研發團隊以西北工業大學數名博士后、博士為核心，依托航空宇航專業背景，在微流量測控領域擁有深厚技術積累。目前已取得20余項創新型技術和幾十項國內外認證，并參與了國家《層流流量計檢定規程》等標準的制定。

“我們堅持從一條公式開始研發高性能產品。"易度智能的技術發展理念體現了對基礎科學的尊重。從論證到研發再到批量投產，產品的高性能及高穩定性，讓易度智能氣體質量流量計及控制器在半導體行業獲得了多家國內頭部半導體設備商的青睞。

精密控制：半導體制造的“氣體脈搏"

在半導體芯片制造過程中，特氣控制的精度直接決定芯片良品率。易度智能針對半導體特氣控制的高標準要求，專門建立了百級潔凈間生產線，確保產品滿足晶圓制造的嚴苛環境。

易度產品基于層流壓差原理，通過內置壓力與溫度傳感器實現動態補償，解決了半導體制造中混合氣體控制、快速響應和高精度要求的三大技術痛點。其無需轉換系數即可實現任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡化了半導體工藝氣體切換的操作流程。

國產替代：從“可用"到“好用"的跨越

長期以來，半導體制造用質量流量控制器市場被國際品牌壟斷。易度智能憑借層流壓差技術路線的差異化優勢，實現了國產MFC從“技術可用"到“技術好用"的關鍵跨越。

“在國產替代趨勢下，我們在半導體制造、燃料電池測試等領域的表現尤為突出。"易度智能技術負責人指出。公司產品已在多家國內頭部半導體設備商的機臺中實現批量應用，助力國產光刻機、刻蝕機等核心裝備實現流量控制部件的本土化替代。

隨著國產化進程加速，國產MFC在半導體市場替代需求持續提升。行業數據顯示，預計到2030年，國產化率將超過40%，這是行業對國產質量流量控制器在半導體領域滲透率的預期。而易度智能正處在這場替代浪潮的前沿。在西部半導體展聚光燈外，易度智能的工程師們仍在百級潔凈間內調試下一代產品。

他們的目標明確：將產品穩定性做到更好，讓中國半導體設備的每一次“呼吸"都精準無誤。

精密氣體流控領域的競賽從未停止，但這一次，陜西易度智能科技有限公司這位中國創新者已躋身第一梯隊。