應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器

易度智能MC100系列，是一款應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器，其可用多種氣體，具有高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性等優(yōu)勢。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢：單機(jī)可用多種氣體，較快的響應(yīng)時(shí)間，并且可以設(shè)定后自主運(yùn)行的性能

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示4種過程變量

l 內(nèi)置60多種氣體，簡單切換氣體，無需查找、輸入系數(shù)，可自主編輯混合氣體

l 無需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可使用，減少貴重氣源浪費(fèi)。

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~500slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100kPaA；    Span：≤±0.2%F.S./100kPaA（基準(zhǔn)100kPaA)

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃）

l 零點(diǎn)漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤700ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~600kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場景

l 金剛石生產(chǎn)過程中的氣體流量控制

l CVD設(shè)備中的氣體流量控制

l 化學(xué)氣相沉積中的氣體流量控制

MC100應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)置多種氣體，方便用戶使用。快速響應(yīng)可迅速糾偏，抗氣源壓力波動(dòng)，層流壓差原理使得產(chǎn)品具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。內(nèi)置高精度的溫度和壓力傳感器，確保產(chǎn)品具有極低的溫漂和壓漂，長期穩(wěn)定性較好，產(chǎn)品連續(xù)在線工作控制準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性好。