混合氣體質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，用于對于氣體的質量流量進行精密丈量和控制；具有質量流量計的功能，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。而質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。氣體質量流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對于氣體的質量流量進行精密丈量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕...

使用流量計產品的用戶會發現，不同廠家產品精度的名稱有不同叫法，有精度、準確度、精度等級等，其實這都說的是產品精度。目前市場上流量儀表精度等級常見的有0.5級、1.0級、1.5級、2.5級等，級數越小，精度（準確度）就越高。如果兩個流量計精度都是1.0%，那么兩塊儀表產品精度就是一樣的嗎？非也！那么區別在哪里呢？我們經常會看到精度數據后面會有RD、FS、SP這樣的字母，區別就在這里。這些字母是什么意思？首先，我們先看產品精度公式：精度=(測量數據-標準值)/標準值*1（公式1）...